微量污染(ran)也會(hui)導(dao)致器件失效。清洗的(de)(de)目的(de)(de)在于(yu)清除表(biao)面(mian)污染(ran)雜質，包括(kuo)(kuo)有機(ji)(ji)物和(he)無機(ji)(ji)物。這些雜質有的(de)(de)以原子(zi)狀(zhuang)態或(huo)離子(zi)狀(zhuang)態，有的(de)(de)以薄膜形(xing)式或(huo)顆粒(li)形(xing)式存在于(yu)硅片表(biao)面(mian)。有機(ji)(ji)污染(ran)包括(kuo)(kuo)光刻膠、有機(ji)(ji)溶劑殘留物、合成蠟(la)和(he)人接觸器件、工具、器皿帶來的(de)(de)油脂或(huo)纖(xian)維(wei)。無機(ji)(ji)污染(ran)包括(kuo)(kuo)重金(jin)屬(shu)金(jin)、銅、鐵、鉻等(deng)(deng)，嚴(yan)重影響少數載流子(zi)壽命和(he)表(biao)面(mian)電導(dao)；堿金(jin)屬(shu)如鈉等(deng)(deng)，引起嚴(yan)重漏電；顆粒(li)污染(ran)包括(kuo)(kuo)硅渣、塵埃(ai)、細菌、微生物、有機(ji)(ji)膠體纖(xian)維(wei)等(deng)(deng)，會(hui)導(dao)致各(ge)種缺陷。

1、主要零部件均采用(yong)世界名牌産(chan)(chan)品，經CAD設計，技(ji)術(shu)先進，性能可(ke)靠、産(chan)(chan)水性能優良。

2、前置(zhi)預處理保(bao)護裝置(zhi)，確保(bao)高壓泵及(ji)反滲(shen)透膜不受(shou)硬物損壞(huai)。

3、脫鹽率高，運(yun)行(xing)壓力低(di)的卷(juan)式復合膜提高了系統效率，并除(chu)低(di)了運(yun)行(xing)成本(ben)。

4、産品濃(nong)縮水(shui)各設有(you)流(liu)量計，以監視并調節運行出水(shui)量及(ji)系統回收(shou)率。

5、在線電導儀表(biao)連續監測産品水質，帶(dai)有設定值和(he)報(bao)警。

6、進水及排水系(xi)統壓(ya)力表監測反(fan)滲透(tou)壓(ya)差，提示(shi)清洗時間，全面的(de)系(xi)統監視，自動(dong)的(de)儀表顯示(shi)。

7、靈敏的高壓、低壓開(kai)關;防止在異常狀況(kuang)下對設(she)備的損壞，確保(bao)系統的正常運轉。

8、硅材料清洗用超純水處理設備采(cai)用先進(jin)的(de)膜(mo)保護系統(tong)定時(shi)沖洗膜(mo)表(biao)面，降低污染速度，延長膜(mo)使用壽命。