集成電路芯片用純水設備
- 來源:
- 善居環保
- 瀏覽:
- 發布日期:
導體、集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)芯片及封裝、液晶顯示、高(gao)精度線路(lu)板、光電(dian)(dian)器件、各種電(dian)(dian)子器件、微電(dian)(dian)子工(gong)業、大(da)(da)規模(mo)、大(da)(da)規模(mo)集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)需用大(da)(da)量的純(chun)(chun)水(shui)(shui)、高(gao)純(chun)(chun)水(shui)(shui)、超純(chun)(chun)水(shui)(shui)清(qing)洗半成(cheng)(cheng)品、成(cheng)(cheng)品。集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)路(lu)的集成(cheng)(cheng)度高(gao),線寬窄(zhai),對水(shui)(shui)質的要求也越高(gao)。目(mu)前我國電(dian)(dian)子工(gong)業部把(ba)電(dian)(dian)子級水(shui)(shui)質技術分為五個行業等級,分別(bie)為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qu)分不(bu)同水質。
1、系(xi)統(tong)采用新水處理技術雙級RO+EDI+混(hun)床模塊化設(she)計,嚴格按新技術設(she)計標準,確(que)保水質(zhi)穩定,長效運行。
2、通過(guo)專(zhuan)業技術(shu)設計,確保系統(tong)短時(shi)停(ting)機及長時(shi)間停(ting)機時(shi)水質保持穩定。
3、通過專(zhuan)業技(ji)術(shu)保(bao)證終端出水(shui)恒壓(ya)、水(shui)質穩定(ding)。
4、通過(guo)完善(shan)的技術(shu)大限度的提高(gao)系統(tong)回收率(lv),降低(di)能耗和運行成(cheng)本。
5、采用(yong)海德能ESPA2超低壓膜,運行(xing)穩(wen)定,能耗低。
6、采用(yong)PH調節(jie)系統以(yi)確保(bao)水溫下降(jiang)或(huo)原水PH值偏(pian)低時(shi)EDI出水水質。
7、配備專門的有化(hua)學清洗系(xi)統,可定(ding)期對反(fan)滲透進(jin)行(xing)化(hua)學清洗,以確保(bao)系(xi)統穩(wen)定(ding)運(yun)行(xing)。
8、配備濃(nong)水(shui)置換(huan)專業技術,防(fang)止膜系統受(shou)到(dao)微生(sheng)物污染(ran)。
9、EDI及后段(duan)出水(shui)采(cai)用超純水(shui)專用管道,大(da)限(xian)度(du)的保證出水(shui)水(shui)質。
10、EDI水箱采(cai)用氮封裝置,以確保終端水質穩定及延長(chang)核能混床壽(shou)命。
11、采(cai)用PLC加觸摸屏(ping)控制系統(tong),并采(cai)用進口(kou)電(dian)氣原(yuan)件,操作(zuo)方便,運(yun)行穩(wen)定。
12、電子半導體行(xing)業用超(chao)純(chun)水設(she)備主體材料全部(bu)采用行(xing)業內國際知名品牌(pai),保(bao)質保(bao)量,并按(an)配置設(she)計。